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1.7、用ELCOMAT 3000光电自准直仪测量机床导轨的平直度所能达到的精度及其条件。
ELCOMAT 3000的精度为在任何20秒内+/-0.1秒。如果直线度(即当沿导轨移动反射镜时反射镜的倾斜角度)在任何20秒内时,其测量精度为+/-0.1秒。如果倾斜角度大于它(但小于我们的测量范围,在5米距离时测量范围约为+/-516秒)时,最大误差为+/-0.25秒。如果我们使用一个100毫米长度的反射镜,则+/-0.1秒相当于+/-0.0485微米的精度,+/-0.25秒相当于0.12微米。这只是ELCOMAT 3000的误差。我们的软件只使用零后的一位小数,也就是说这个软件的最大误差为+/-0.0485微米。这是仪器及软件的误差。另外,环境也可能造成误差。若环境温度波动1摄氏度,角度数值可能会变化0.2秒,也就是相当于0.1微米。
如果测量现场有震动的话,当然也会造成额外的误差,但这个误差我们无法预计。所以,如果我们只是考虑理论上的误差及可能的温度波动造成的误差,我们可以说在非常好的条件下的测量精度为0.3微米。但是,我们不能向用户保证在直线度测量时他可以达到这样的精度,因为根据我们的经验,因为测量精度大部分依靠于用户这边的条件。我们在德国有一个用户,他可以达到这个精度,但他的条件非常好(在实验室中)并有专业的操作人员。
在机床工业中,普通的环境下用户可以达到大约1至3微米的重复性。但这也需要较好的条件。另外,因为反射镜需要在导轨上移动,其测量精度也受导轨自身的粗糙度的影响。如果其粗糙度在0.1毫米或是0.01毫米的范围,当然这也会增加测量误差,因为反射镜角度的变化不仅仅是由非直线度造成的,也是由粗糙度的作用引起的。