应 用
测量正焦距
准直仪将一个刻线投射至无限远。样品在其焦平面上产生一个该刻线的图像。刻线图像的尺寸仅取决于已知的准直仪的焦距和需要测量的样品的焦距。
因此，由一台自准直仪和一个显微物镜构成一个读数望远镜，由它对刻线图像的尺寸进行测量后得出焦距。
测量过程是在显示器上的菜单提示下进行的。
技术数据：
焦距测量范围：5 mm… 500 mm
自由开度：28 mm
最大样品直径：200 mm
重复性：0.04% … 0.2%
测量精度：0.3%
测量负焦距
准直仪将一个刻线投射至无限远。样品在其焦平面上产生一个该刻线的图像。
由一台自准直仪和消色差附件构成一个读数望远镜，由它对虚拟刻线图像的尺寸进行测量后得出焦距。
测量过程是在显示器上的菜单提示下进行的。
（测量原理及计算公式请见下图5）
技术数据：
焦距测量范围：-5 mm… -580 mm
自由开度：28 mm
最大样品直径：200 mm
重复性：0.04% … 0.2%
测量精度：0.3%
测量后焦距
准直仪将一个刻线投射到无限远。样品在其焦平面上产生该准直仪刻线的图像。
由一台自准直仪和消色差附件构成一个读数望远镜。通过垂直移动读数望远镜，就可以得到刻线图像距样品表面顶点的距离。
测量过程是在显示器上的菜单提示下进行的。
技术数据：
后焦距测量范围：5 mm… 530 mm
自由开度：28 mm
最大样品直径：200 mm
重复性：0.02% … 0.2%
测量精度：0.3%
测量凸球径
使用一台带有消色差附件的自准直仪。
该自准直仪在其消色差附件的焦平面上产生一个刻线图像。
该系统会在曲率的中心及样品表面的顶点产生自准直图像。这两点间的垂直距离就是曲率半径，它就是测量对象。 测量过程是在显示器上的菜单提示下进行的。
技术数据：
球径测量范围：+2 mm… +530 mm
自由开度：28 mm
最大样品直径：200 mm
重复性：0.02% … 0.2%
测量精度：0.3%
测量凹球径
使用一台带有消色差附件的自准直仪。
该自准直仪在其消色差附件的焦平面上产生一个刻线图像。
该配置会在曲率的中心及样品表面的顶点产生自准直图像。这两点间的垂直距离就是曲率半径，它就是测量对象。
测量过程是在显示器上的菜单提示下进行的。
技术数据：
球径测量范围：-2 mm… -480 mm
自由开度：28 mm
最大样品直径：200 mm
重复性：0.02% … 0.2%
测量精度：0.3%
测量光楔角度及平行度
使用一台带旋转刻线仓的自准直仪。
该自准直仪带有一套6个针孔。一个针孔代表一个特定的光楔角度。
自准直仪发出的平行光由样品的两个表面反射。每个反射均形成一个自准直图像。
如果两个针孔图像重合（a）则表明其表面是平行的。否则将会产生两个图像。光楔角度可能会在针孔给定的公差范围之内（b）或之外(c)。
技术数据：
光学参数 | 自准直仪焦距 | 针孔的公差范围 | 测量精度 | 平行度 | 140 mm
300 mm | 30",1',2',3',4',5'
10",20",30",1',2',3'
| 8"
3" | 90°棱镜
的角度误差 | 140 mm
300 mm | 15",30",1',1.5',2',2.5'
5",10",15",30",1',1.5'
| 4"
2" | 屋脊棱镜
的角度误差 | 140 mm
300 mm | 7.5",15",30",45",1',1.25'
2.5",5",7.5",15",30",45" | 2"-3"
1"-2"
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面形误差的激光干涉测量
使用激光干涉仪INSPECT mini。
该激光干涉仪必须使用一个标准元件以用于测量平面和球面。
使用条纹评估软件IFA将提高测量精度。
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