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微型激光干涉仪 适用于车间及生产线的廉价激光干涉仪
更多信息:英文样本
VI-Vario是一台微型激光干涉仪,测量口径包括:10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm及100 mm,可由用户选择。可以垂直、倾斜或水平使用。非常适宜于车间及生产线使用,价格仅为2万至4万欧元。
功能包括:
- 光学平面的平面度测量;
- 球面度测量
- 曲率半径测量(分辨率0.1微米至10微米,可选)
评估方式:
- 肉眼或软件辅助(条纹评估软件)范围与所需的参考球径的关系示意图
技术数据:
λ/10 p-v,肉眼 λ/20 p-v,通过软件辅助
λ/30 p-v,直径大至50 mm λ/20 p-v,直径大至100 mm
λ/10 R25, 直径10 mm, 16 mm, 28 mm λ/10 R50, 直径50 mm λ/10 R80, 直径100 mm λ/10 R120, 直径100 mm λ/10 R300, 直径100 mm λ/10 R1000,直径100 mm λ/10 R1500,直径100 mm