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VI-Vario是一台微型激光干涉仪,测量口径包括:10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm及100 mm,可由用户选择。可以垂直、倾斜或水平使用。非常适宜于车间及生产线使用。
应用领域包括:
· 表面及平行平面的平面度测量
· 透镜和机械部件的圆度测量
· 透镜和机械部件的曲率半径测量
· 透镜和光学系统的波前畸变测量
· 棱镜,立方体角和光学楔劈的角度测量
功能包括:
- 光学平面的平面度测量;
- 球面度测量
- 曲率半径测量(分辨率0.1微米至10微米,可选) 评估方式:
- 肉眼或软件辅助(条纹评估软件) 技术数据:
| 激光干涉仪类型 |
FIZEAU条纹评估 |
| 光源 |
HeNe激光器 |
| 工作波长 |
632.8 nm |
| 输出光束直径 |
10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm或100 mm
根据所选的光管不同 |
| 测量精度 |
λ/10 p-v,肉眼
λ/20 p-v,通过软件辅助
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| 参考平面 |
λ/30 p-v,直径大至50 mm
λ/20 p-v,直径大至100 mm
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| 参考球面 |
λ/10 R25, 直径10 mm, 16 mm, 28 mm
λ/10 R50, 直径50 mm
λ/10 R80, 直径100 mm
λ/10 R120, 直径100 mm
λ/10 R300, 直径100 mm
λ/10 R1000,直径100 mm
λ/10 R1500,直径100 mm |
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