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微型激光干涉仪
适用于车间及生产线的廉价激光干涉仪

更多信息:英文样本

  VI-Vario是一台微型激光干涉仪,测量口径包括:10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm及100 mm,可由用户选择。可以垂直、倾斜或水平使用。非常适宜于车间及生产线使用,价格仅为2万至4万欧元。

  功能包括:

  - 光学平面的平面度测量;

  - 球面度测量

  - 曲率半径测量(分辨率0.1微米至10微米,可选)

  评估方式:

  - 肉眼或软件辅助(条纹评估软件)范围与所需的参考球径的关系示意图

 技术数据:

激光干涉仪类型 FIZEAU条纹评估
光源 HeNe激光器
工作波长 632.8 nm
输出光束直径 10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm或100 mm
根据所选的光管不同
测量精度

λ/10 p-v,肉眼
λ/20 p-v,通过软件辅助

参考平面

λ/30 p-v,直径大至50 mm
λ/20 p-v,直径大至100 mm

参考球面

λ/10 R25, 直径10 mm, 16 mm, 28 mm
λ/10 R50, 直径50 mm
λ/10 R80, 直径100 mm
λ/10 R120, 直径100 mm
λ/10 R300, 直径100 mm
λ/10 R1000,直径100 mm
λ/10 R1500,直径100 mm


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