VI－Vario是一台微型激光干涉仪，测量口径包括：10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm及100 mm，可由用户选择。可以垂直、倾斜或水平使用。非常适宜于车间及生产线使用。

　　应用领域包括：
　　· 表面及平行平面的平面度测量
　　· 透镜和机械部件的圆度测量
　　· 透镜和机械部件的曲率半径测量
　　· 透镜和光学系统的波前畸变测量
　　· 棱镜，立方体角和光学楔劈的角度测量

　　功能包括：
　　 －　光学平面的平面度测量；
　　 －　球面度测量
　　 －　曲率半径测量（分辨率0.1微米至10微米，可选）
　　 评估方式：
　　 －　肉眼或软件辅助（条纹评估软件）

　　 技术数据：

激光干涉仪类型	FIZEAU条纹评估
光源	HeNe激光器
工作波长	632.8 nm
输出光束直径	10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm或100 mm 　根据所选的光管不同
测量精度	λ/10 p-v，肉眼 　λ/20 p-v，通过软件辅助
参考平面	λ/30 p-v，直径大至50 mm 　λ/20 p-v，直径大至100 mm
参考球面	λ/10　R25， 直径10 mm, 16 mm, 28 mm 　λ/10　R50,　直径50 mm 　λ/10　R80， 直径100 mm 　λ/10　R120, 直径100 mm 　λ/10　R300, 直径100 mm 　λ/10　R1000,直径100 mm 　λ/10　R1500,直径100 mm