大表面平面度扫描仪－FLATSCAN

　　想不想比传统激光干涉仪测量更大的表面？是不是觉得传统激光干涉仪使用环境过于严格，且对您太过昂贵？看一看我们的FLATSCAN吧！

　　FLATSCAN可以自动测量抛光表面的平面度，如硅晶片、抛光玻璃或水晶平面及镜子边缘等。它可以测量大至110m的曲率半径，应用范围非常广泛。它的优势在于可以测量更大尺寸的表面（如300mm, 450mm, 750mm，1200mm或更大）。

　　 我们的测量软件另有专门测量晶片材料应力的版本。

              　　

　　

测量原理：

　　受测样品作为一个带有电子图像处理及评估的高分辨率的激光自准直仪的参考平面。激光光束在一条线上扫描受测样品的表面。该测量系统探测到反射角度的极其微小的变化（分辨率约为0.1")。其软件从这些测量结果中计算出表面的形状。一个便于使用的Windows兼容的软件控制步进马达的运动、数据采集及数据评估。

　　因为其很高的测量精度，FLATSCAN可以做为替代传统激光干涉仪进行平面度测量的另一个选择。与Fizeau激光干涉仪相比，FLATSCAN的优势在于其测量场的尺寸可以达到1200mm，其可测量的曲率半径最大至110m，并且它对震动不敏感。

　　FLATSCAN按测量方式共分两种型号：

　　一、2D扫描：仪器扫描一条线并计算、输出测量结果。欲测量另一条线时，需要手工旋转样品并再次测量。其测量报告表明了一条线上表面曲率（直线度）：

　　　
2D扫描图示

　2D测量报告

　　
　　二、3D扫描：操作人员可以自由选择X、Y数目，仪器自动旋转样品进行测量，其测量报告给出选定范围内的曲率：

3D扫描图示

3D测量报告

测量报告样本(对一个样品的2D及3D测量结果)
而此样品无法通过激光干涉仪测量，因为距平面的偏差过大

　　FLATSCAN按测量精度（重复性）共分四种型号： 1微米，100纳米，20纳米，1纳米。

　　FLATSCAN按测量尺寸共分五种型号：300mm, 450mm, 750mm, 1200mm, 1200mm以上（定制）

技术数据：

激光自准直系统		测量
焦距	F＝200mm	速度	150mm时约50秒
激光能量	1mW	最小步进	0.0125mm
分辨率	<0.1"	测量点（最多）	7500
测量范围	+/- 800"	曲率半径（最大）	至110m
可重复性	+/- 20nm	精度	1um/100 nm/20 nm/1nm可选
所需的反射率	2％至100％
受测样品的尺寸
标准	≤250mm
最大	≤1200mm或更大
大于1200mm时	请向我们另订
测量系统的尺寸 （不带受测样品台时）
高	400mm
宽	650mm
深	250mm
重	13kg

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