OTS-Z是一个计算机控制的测量柱面镜的光学及几何参数的仪器。它的特点包括多种参数的自动测量进程、大测量范围及简单化的操作。OTS-Z可以胜任于实际工作中的大多数测量任务。OTS-Z可以在很短的测量时间内提供精确的测量结果。

　　测量参数：

　　- 有效焦距 (EFL)
　　- 后焦距 (BFL)
　　- 曲率半径 (R)
　　- 截距 (FFL)
　　- 柱轴与机械中心线的偏差
　　- 柱轴与透镜外沿的扭曲

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　　透射/反射中测量柱轴的偏差：

　　此功能是测量柱轴的顶点线与一个参照物的偏差，一般来说，此参照物是柱面镜的外沿。

　　样品放置于X、Y平台上，并定位于挡位上。测头聚焦于柱轴上，此时将在屏幕上呈现其反射图像（一条线）。我们的软件将非常精确的测量出此线的位置。然后，样品旋转180°，并再次定位于台面的挡位上。

　　我们从线位置的变化中计算出偏差值。

　　透射/反射中柱面镜柱轴与透镜外沿的扭曲：

　　此功能是测量柱轴与一个参照物的扭曲，一般来说，此参照物是柱面镜的外沿。

　　此测量使用马达驱动的X、Y台面 。样品放置于X、Y平台上，并定位于挡位上。测头聚焦于柱轴上，此时将在屏幕上呈现其反射图像（一条线）。
然后，台面将平行于挡位移动，以使柱轴可以被测头扫描。如果存在柱轴与柱面镜外沿的扭曲，反射图像将会移动。我们的软件可以非常精确的测量出不同位置的移动。从位置测量中，软件将计算出扭曲角。

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　　技术参数:

　　测量分辨率：±0.2微米
　　测量精度：±1.5微米
　　其它分辨率及精度另询
　　对焦：自动对焦及手动对焦
　　

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　　　下载：柱面镜的测量报告-Drift 　　柱面镜的测量报告-Twist

　　　更多：柱面镜测量仪OTS Z中文样本